ASML柏林火灾事件最新进展：EUV设备零件产区受影响

火灾发生在柏林现场的一座生产大楼的一部分，烟雾部分影响了相邻的建筑物。这些建筑物的部分区域已恢复生产。现场的其他建筑物没有受到影响，并已全面投入使用。ASML正在进行对损害的影响评估，目前的评估如下：

1.    计量和检验输出计划不受影响，因为它们不包含柏林制造的任何组件；

2.    DUV组件的制造已重新开始。尽管 DUV 的组件存在一些中断，ASML希望以不会影响DUV 输出和收入计划的方式对此进行补救；

3. 至于 EUV，火灾影响了晶圆夹具的部分生产区域，这是EUV 系统中的一个模块。ASML仍在完成该生产区域的恢复计划，并确定如何最大限度地减少对EUV客户的任何潜在影响，包括输出计划和现场服务。